带步进电机和滚珠丝杠的表面对准器
该对准器可实现平面内15毫米的二次平移运动以及高达±5度的垂直旋转。R（Phi）运动由XY组合产生。该对准器设计负载高达5公斤。透射光孔径可用于传递测量。
在高真空环境下保持卓越精度
非常适合在高达 10-6 mbar 的真空环境中进行传输测量
专为孔径为 235 mm 的大型样品设计
高达 1 µm 的重复精度，负载能力为 5 kg
采用无间隙滚珠丝杠 1214，力传递效果理想
精准的运行参数，性价比极高
可选配置：
可根据工艺流程进行调整：孔径、支架、进料器、传感器
符合 ISO 14644-1 洁净室标准的配置（可根据要求达到 1 级）
个性化设计，包括机架、隔振装置和外壳
基于 3D 设计，为定位任务提供个性化解决方案
个性化扩展和定制
工程服务包括根据您的结构和所需的运动控制，或基于 3D 设计，为特定应用的定位任务提供完全个性化的解决方案开发。
此外，我们还开发原型，并乐于根据您的应用环境要求调整系统，包括颗粒物排放、辐射、温度、精密特殊部件制造、工作高度、碰撞保护、安全方案、补偿系数和滤波器、传感器安装、制动、解耦、特殊润滑、特殊颜色、支架、适配器、获得药品认证的专用电机、全面的文档、测试协议、生命周期测试。
应用领域
高压/超高压晶圆检测、半导体检测、半导体对准、高真空样品对准、分析、入射光和透射光测量、传输测量、装配任务、连接前部件对准
