超高精度五轴调节器
负载高达 20 N，分辨率高达 0.007 µm，可实现最精细的增量运动
电动定心调平平台可极其一致地移动五个自由度。该系统可在三个方向上移动，并可在平面内以两个角度倾斜。
超高分辨率，高达 0.007 µmm
Rx 和 Ry 方向上的最大定位精度为 ± 1.5°
负载能力高达 20 N
由于采用坚固的自保持滑动螺纹驱动器，最精细的运动精度可达 0.07 µm
由于采用坚固的轴承接头，具有最高的抗干扰能力
在所有自由度上，重复精度高达 ± 0.5 µm
由于集成了五轴控制电子元件，因此非常紧凑
简单的电源和标准数据接口构成了与上级系统的连接
无线数据和能量传输
其整体强度使该机械手可与旋转平台结合使用。 MP200-5 是同类产品中唯一一款无线传输能量和控制数据的定位系统。因此，它可以实现精确的运行参数，且不受滑动接触干扰。
应用领域
制造和计量设备中的物体高精度对准、旋转断层扫描、CT 扫描、部件 3D 检测、圆度测量设备、半导体检测、光学定心系统、校准系统或通用检测系统
