6轴对准，可对准最大尺寸达12英寸的晶圆和光学元件
这款6轴机械手包含一个水平轴XY平台和一个用于垂直行程和两个倾斜角度的三脚架，将笛卡尔和并联运动设计的优势融合在一个系统中。笛卡尔XY轴调节行程范围为±15毫米，三脚架的垂直轴行程范围为±10毫米。旋转轴Rx和Ry允许±2°倾斜，绕垂直轴Rz的旋转运动范围为360°。
自动化洁净室检测
非常适合自动化检测最大尺寸达300毫米/12英寸的晶圆和光学元件
重复精度高达±2.5微米或±0.005°
尺寸为520 x 600 x 155毫米，具有卓越的精度、刚性和紧凑性
设计用于三班制作业，最高可达ISO洁净室等级5
选项：
经过特定应用测试，可立即使用，包含即插即用运动控制器。样品软件
适用于最大尺寸为 450 毫米/18 英寸样品的特殊版本
适用于符合 ISO 14644-1 洁净室的不同版本（可根据要求达到 1 级）
模块化多轴系统，配备定制/可更换工艺头
多种样品支架，可集成到工作流程中
基于 3D 设计，针对定位任务进行个性化解决方案开发
个性化扩展和定制
工程服务包括根据您的结构和所需的运动控制，或基于 3D 设计，针对特定应用的定位任务进行完全个性化解决方案开发。
此外，我们还开发原型，并乐于根据您的应用环境要求调整系统，包括颗粒物排放、辐射、温度、精密特殊部件制造、工作高度、碰撞保护、安全方案、补偿系数和滤波器、传感器安装、制动、解耦、特殊润滑、特殊颜色、支架、适配器、获得药品认证的专用电机、全面的文档、测试协议、生命周期测试
应用领域
半导体检测、对准、晶圆、光学、机械手、并联运动学、晶圆和 PCB 上的测试和键合、光学检测和处理的组合，例如用于芯片上键合（测量显微镜和激光焊接）
