紧凑型 XYZ 平台，适用于最大 5 英寸的样品
该 XYZ 系统可定位样品支架，实现高稳定性的双面入射光和透射光测量。样品加载和调焦通过 25 mm 行程的垂直移动实现。该支架专为圆形样品（例如光纤或更小的晶圆）设计，可适应各种尺寸和工艺。
温度波动时仍保持高精度
非常适合有限的安装空间和 0 - 40°C 的温度波动
行程范围可达 25 mm，占用空间极小
即使在电机关闭的情况下也能保持绝对的位置稳定性
高重复性确保一致的测量结果
可选：
适应工艺：样品台、支架、进料器、传感器
符合 ISO 14644-1 洁净室标准的配置（可根据要求达到 1 级）
个性化设计，包括机架、隔振装置和外壳
个性化解决方案开发，采用 3D 设计，用于定位任务
个性化扩展和定制
工程服务包括将系统与您的结构进行匹配以及所需的运动控制或完全
