X 轴和 Y 轴最小定位增量以及绕 Z 轴旋转
配备压电电机的 Phi-XY 系统
用于 XY 轴运动和旋转的小型机械手。线性行程为 10 毫米，旋转精度为 ± 5 度。通过压电驱动器，实现了纳米级的极高分辨率。旋转由线性平台通过柔性联轴器作用于旋转轴承实现。
用于零件对准的固定关节
该三轴系统用于对准零件和样品。由于几毫米或几度的小行程足以实现此类校正运动，因此，如果线性平台通过固态关节将其运动传递到原本被动的旋转平台，则可以产生旋转运动。这种固态关节的优势在于，它将线性平台的精度完全传递到旋转平台。如果挠度保持在 5 度以下，该关节的刚度也足以在拉伸和压缩方向上传递纳米级的运动。
适用于半导体行业
根据工作台上安装的测量系统的分辨率，可实现至少 30 纳米的重复精度。请注意，必须使用分辨率高于此处指定的标准版本的测量系统。该机械手尤其适用于自动化微装配系统或研究实验装置。它非常适合用于半导体行业的晶圆对准。该机械手也适用于真空环境，并提供相应的版本。
