带孔径 XY 工作台上的三脚架
该对准器设计有 5 个自由度。三脚架内部包含 MP200-3 系统，该系统具有三个垂直操作的精密轴，并通过坚固的接头连接到可移动的负载板。这使得负载板可以在两个轴上倾斜，并可调整高度。三脚架安装在 KDT235 孔径扫描工作台上，以实现额外的 XY 运动。
光学和主动对准的理想选择
运动控制：X、Y 方向独立，Rx、Ry、Z 方向平行
性价比高，使用寿命长
选项：
带附加旋转台的主轴旋转
各种高分辨率测量系统
XY 方向行程范围更大
适用于洁净室（最高可达 ISO 4 级）、真空、实验室或生产环境
定制开发，包括 3D 设计、原型设计和批量生产
应用领域
光学和主动对准、显微镜高分辨率应用、光学检测系统、3D 成像、筛选、入射光测量、透射光测量、干涉测量、计量学、自动对焦系统、生物技术、半导体测试
