高动态三轴对准系统:
负载高达 45 N,采用直流或步进电机驱动,性价比极高
这款紧凑型三轴对准系统采用丝杠驱动和直流或步进电机驱动,可使用我们的 FMC 系列控制器轻松控制。使用合适的调试软件 FMC Quick Access,系统可在几分钟内完成初始测试。
高刚度带来微米级精度
高动态性能,速度高达 30 mm/s
负载高达 45 N
交叉滚子轴承导轨带来最小摩擦阻力
应用领域
微加工和微组装、研发、特种机械制造、光学元件对准、自动晶圆测试、硅光子学组装技术