高精度笛卡尔 XYZ 系统
XYZ 定位系统是一款笛卡尔导向定位系统，由三个微型线性平台（3 x MT95）组成。其交叉滚柱导轨使其性能卓越。强大的驱动系统由无间隙齿轮箱和滚珠丝杠组成，完全集成在定位系统中，非常适合尺寸有限的应用。
非常适合组件和附加轴的对准
紧凑尺寸（145 x 95 x 130 mm）下，XYZ 轴行程可达 40 mm
超高分辨率，可在三个横向方向上逐步校正
重复精度高达 1.5 µm
选项：
适应工艺：样品、样品支架、进料器、机器人、传感器
适用于 ISO 14644-1 洁净室的版本（可根据要求达到 1 级）
适用于真空和无磁环境的版本
通过 3D 设计为定位任务提供个性化解决方案
个性化扩展和定制
工程服务包括根据您的结构和所需的运动控制，或完全原型设计，并根据您的应用环境要求（颗粒排放、辐射、温度、精密特殊部件制造、工作高度、碰撞保护、安全概念、补偿系数和滤波器、传感器安装、制动、解耦、特殊润滑、特殊颜色、支架、适配器、特殊电机）进行系统调整药品审批、综合文档、测试方案、生命周期测试
应用领域
微加工和微组装、微机电系统 (MEMS) 对准多轴应用设置、晶圆样品测试、光学组装、半导体测试、实验室自动化、研发、定制机械生产
