高分辨率微定位器
MP53 定位系统是一款微型三轴系统，可实现 X、Y 和 Z 轴运动，行程范围为 10 毫米。该定位器采用压电电机设计，定位增量可达几纳米。线性光栅尺可确保重复精度达到 +- 0.005 微米。
紧凑型应用的理想之选
分辨率达亚微米级
负载能力高达 5 N
高精度定位，确保可靠一致的质量
可选扩展：
可选配高分辨率测量系统，重复精度高达 0.005 µm
可与旋转平台组合，用于旋转应用
提供适用于高达 10-11 mbar 真空或 ISO 14644-1 6 级洁净室（可根据要求提供 1 级）的版本
提供磁性、低磁性和无磁版本
预配置运动控制器，包含示例软件，可立即使用
应用领域
适用于实验室应用、显微镜和半导体技术、样品制备、样品扫描、相机对准、传感器对准、材料研究、材料分析等极小尺寸的精密定位
