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工程定制

检验与显微技术

我们为您提供经过全面测试的基础设施，用以共同制造合作开发的设备。例如，我们可以将您的传感器技术投入实践，构建基础结构与外壳，安装必要的安全装置，配置专用软件，并测试您所需的所有功能。

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XYZ 定位系统用于检查最大 12 英寸/300 毫米的晶圆（洁净室 ISO 6）| 行程 305 x 305 x 200 毫米

XYZ 定位系统用于检查最大 12 英寸/300 毫米的晶圆（洁净室 ISO 6）| 行程 305 x 305 x 200 毫米

用于晶圆、PCB、探针卡（洁净室）光学检测的 XYZ 定位系统 | 行程 200 x 200 毫米

用于晶圆、PCB、探针卡（洁净室）光学检测的 XYZ 定位系统 | 行程 200 x 200 毫米

2X-Y-Ys（XYZ）定位系统，用于晶圆检测/拉曼光谱，最大尺寸达 12 英寸/面板（洁净室 ISO 4）| 行程 400 x 400 毫米

2X-Y-Ys（XYZ）定位系统，用于晶圆检测/拉曼光谱，最大尺寸达 12 英寸/面板（洁净室 ISO 4）| 行程 400 x 400 毫米

6轴半导体检测定位系统（洁净室等级ISO 4）| 行程XYZ 30 x 30 x 20 mm，RxRy 4°，Rz 360°

6轴半导体检测定位系统（洁净室等级ISO 4）| 行程XYZ 30 x 30 x 20 mm，RxRy 4°，Rz 360°

双 XYZ 晶圆定位器，适用于扫描仪、显微镜和最大 12 英寸/300 毫米晶圆（洁净室 ISO2）| 行程 720 x 720 x 100 毫米

双 XYZ 晶圆定位器，适用于扫描仪、显微镜和最大 12 英寸/300 毫米晶圆（洁净室 ISO2）| 行程 720 x 720 x 100 毫米

XYZ定位系统，用于通过激光、光学元件（例如太阳能电池、晶圆）进行检查和计量 | 行程 1200 x 1400 x 200 毫米

XYZ定位系统，用于通过激光、光学元件（例如太阳能电池、晶圆）进行检查和计量 | 行程 1200 x 1400 x 200 毫米

用于自动在线晶圆检测（例如层厚测量）的 XYZ 定位系统 | 行程 650 x 650 x 100 mm

用于自动在线晶圆检测（例如层厚测量）的 XYZ 定位系统 | 行程 650 x 650 x 100 mm

用于晶圆/探针卡自动检测（洁净室）的 XYZ 定位系统 | 行程 720 x 720 x 100 mm

用于晶圆/探针卡自动检测（洁净室）的 XYZ 定位系统 | 行程 720 x 720 x 100 mm

半导体 XYZ 检测龙门架 | XY 直线电机，异型导轨 | Z 滚珠丝杠，交流伺服

半导体 XYZ 检测龙门架 | XY 直线电机，异型导轨 | Z 滚珠丝杠，交流伺服

用于晶圆、生物样本检测的 X Phi 定位系统（洁净室 ISO 5）| 旋转轴和线性平台

用于晶圆、生物样本检测的 X Phi 定位系统（洁净室 ISO 5）| 旋转轴和线性平台

XYZ Phi检测系统适用于12英寸晶圆、印刷电路板（洁净室ISO 2）

XYZ Phi检测系统适用于12英寸晶圆、印刷电路板（洁净室ISO 2）

用于高分辨率、自动成像的 9 轴显微镜站 | XYZ Phi Theta Omega 定位系统

用于高分辨率、自动成像的 9 轴显微镜站 | XYZ Phi Theta Omega 定位系统

适用于滚筒的移动显微镜支架 | 测量圆柱形、大型、敏感的样本

适用于滚筒的移动显微镜支架 | 测量圆柱形、大型、敏感的样本

适用于大板的移动显微镜支架 | 测量大型、轻型和敏感的标本

适用于大板的移动显微镜支架 | 测量大型、轻型和敏感的标本

Phi-Theta 3D 扫描仪 | 用于检查隐形眼镜（活体移植和合成）的旋转定位系统

Phi-Theta 3D 扫描仪 | 用于检查隐形眼镜（活体移植和合成）的旋转定位系统

用于测量同心度、圆度和圆柱度的圆形测量仪 | 测量范围：最大长度 400 毫米 / 直径 35 毫米

用于测量同心度、圆度和圆柱度的圆形测量仪 | 测量范围：最大长度 400 毫米 / 直径 35 毫米

太阳能晶片检测系统

用于 3D 内部检查的旋转单元 | 用于柴油发动机检查的 Phi 定位系统

用于 3D 内部检查的旋转单元 | 用于柴油发动机检查的 Phi 定位系统

滚珠丝杠传动螺距误差测量系统

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