面向下一代创新的运动解决方案
半导体制造要求最高水平的精度、工艺可靠性和污染控制。
无论是晶圆处理、光刻还是先进的检测系统，每种应用都将运动部件推向极限：极高的精度、真空兼容性和超低颗粒排放，有时甚至需要完全排除某些材料。
Steinmeyer 滚珠丝杠的设计旨在满足这些需求，毫不妥协。它们专为洁净室使用而设计，在动态环境中提供可靠的性能，即使在紧凑、高度集成的系统中也能保持卓越的稳定性和使用寿命。
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适用于每个半导体系统的完美解决方案
| 晶圆生产和处理 | 检测和计量系统 | 组装和封装设备 |
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| 电子束或EUV光刻等工艺对精度、稳定性和材料纯度有极高的要求。Steinmeyer滚珠丝杠可在洁净室环境中处理诸如焦距调整和晶圆处理等关键运动。除了卓越的定位精度外，其独特的材料配置也使其脱颖而出，旨在最大限度地减少颗粒物排放并消除掺杂剂带来的污染风险。因此，它们是这些高度敏感的制造步骤的理想之选。 | 在结构晶圆检测和高精度测量方面，每个运动都必须完美无瑕。Steinmeyer滚珠丝杠为样品台和光学元件提供精确的进给和Z轴定位。它们专为洁净室环境而设计，确保运动平稳、无振动，并具有卓越的精度和持久的可靠性。 | 在芯片贴装、引线键合或倒装芯片贴装等封装应用中，快速且超精密的运动至关重要。Steinmeyer滚珠丝杠可实现灵敏的对准和进给运动，例如在拾放轴或键合头中。即使在连续运行中，它们也能实现快速的循环时间和出色的重复性。 |
为何选择 Steinmeyer 滚珠丝杠
在半导体制造中，每个细节都至关重要。即使是最微小的污染或偏差，也可能扰乱工艺流程、影响结果，甚至导致代价高昂的缺陷。因此，精度至关重要，材料质量和周到的设计也同样重要。
Steinmeyer 滚珠丝杠专为满足这些高要求而设计。无论是在高真空、洁净室中运行，还是处理超精细行程，它们都能提供可靠、高度可重复的运动。通过精心挑选材料、设计专用螺母几何形状并定制润滑方案，Steinmeyer 确保这些部件即使在最具挑战性的条件下也能完美运行。这使得它们成为从晶圆生产到光学检测等敏感应用领域不可或缺的一部分。
卓越之处：
1、凭借完美无瑕的螺纹制造和针对特定应用的预紧力设置，实现始终如一的精度
2、通过优化材料选择，并可选择排除特定掺杂元素，最大程度地减少颗粒排放
3、使用特殊润滑剂和高品质塑料部件，实现低排气和无污染运行，特殊情况下可选用完全无润滑剂和无塑料的解决方案
4、紧凑高效的设计，采用小尺寸螺母，适用于安装空间狭小的高度集成系统
5、采用定制材料和针对特定应用的润滑理念，针对真空和洁净室应用进行了优化
2025-08-05